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质子注入和快速退火对GaAs/AlGaAs量子阱能级结构的调整

李娜 , 李宁 , 陆卫 , 刘兴权 , 窦红飞 , 沈学础 , Fu Lan , Tan H H , Jagadish C , Johnston M B , Gal M

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2000.01.007

摘要 本文介绍利用界面混合技术对GaAs/AlGaAs量子阱结构进 行微调,通过荧光光谱和光响应电流谱给出了质子注入和快速退火对 禁带宽度及导带内子带位置的影响,荧光光谱峰位随注入剂量(5× 1014~5×1015~cm-2)的增加从766~nm持续蓝移至753~nm,光响 应峰值波长从8.2~μm移至10.3~μm。

关键词: 质子注入 , 快速退火 , GaAs/AlGaAs , 量子阱

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